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潔凈無塵車間等級標準有哪些?
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無塵車間潔凈度等級標準ISO14644根據懸浮粒子濃度這個唯一指標來劃分潔凈室(區)及相關受控環境中空氣無塵車間潔凈度的等級,并且僅考慮粒徑限值(低限)0.1um~0.5um范圍內累計分布的粒子群。根據粒子徑,可以劃分為常規粒子(0.1um~0.5um)、超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。
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